Synthesis and research by IR - ATR spectroscopy methods and ellipsometry of ultrathin oxide films on the surface of single crystal silicon and germanium

Author
M. A. Eremeeva
Year
1977
Language of the thesis
Russian
Thesis name in original language
Синтез и исследование методами ИК - спектороскопии МНПВО и эллипсометрии сверхтонких окисных пленок на поверхности монокристаллов германия и кремния
Abstract & Cover
Source of Information
Malygin et al., Chem. Vap. Deposition 21 (2015) 216-240
University
LTI by Lensovet
(Leningrad, USSR)
LinkedIn
linkedin invite