Studies on the surface chemistry of atomic layer deposition and the impact on process efficiency exemplified by an optimized shower head

Author
Martin Rose
Year
2010
Language of the thesis
German
Thesis name in original language
Untersuchungen zur Oberflächenchemie der Atomlagenabscheidung und deren Einfluss auf die Effizienz von Prozessen am Beispiel einer optimierten Gasdusche
Abstract & Cover
Source of Information
Thesis (from Prof Bartha, through Riikka Puurunen)
University
Technische Universität Dresden, Fakultät Elektrotechnik, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
(Dresden, Germany)
Other notes
(title translation by Prof Johann Bartha)
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