Structure and properties of ultrathin titanium oxide layers synthesized on the monocrystalline silicon surface in an electric field

Author
N. N. Kopylov
Year
1982
Language of the thesis
Russian
Thesis name in original language
Структура и свойства сверхтонких титаноксидных слоев, синтезированных на поверхности монокристаллического кремния в электрическом поле
Abstract & Cover
Source of Information
Malygin et al., Chem. Vap. Deposition 21 (2015) 216-240
University
LTI by Lensovet
(Leningrad, USSR)
LinkedIn
linkedin invite