Study of High-k materials deposition by Plasma ALD for MIM capacitors

Author
Denis Monnier
Year
2010
Language of the thesis
French
Thesis name in original language
Etude des dépôts par plasma ALD de diélectriques à forte permittivité diélectrique (dits « High-K ») pour les applications capacités MIM
Abstract & Cover
University
Université de Grenoble
(Grenoble, France)
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