Properties of interface boundaries between monocrystalline silicon and ultra-thin layers of titanium and silicon oxides synthesized by molecular layering method

Author
A. S. Yakovlev
Year
1987
Language of the thesis
Russian
Thesis name in original language
Свойства поверхностных связей между монокристаллическим кремнием и ультратонкими слоями оксидов титана и кремния синтезированных методом молекулярного наслаивания (translated by Oksana Yurkevich)
Abstract & Cover
Source of Information
Malygin et al., Chem. Vap. Deposition 21 (2015) 216-240
University
LTI by Lensovet
(Leningrad, USSR)
LinkedIn
linkedin invite